晶园工艺
 
华鑫微纳8英寸MEMS晶圆线投产
 2025-5-29
 

5月24日,在第七届智能传感器产业发展大会上,安徽华鑫微纳集成电路有限公司宣布,其8英寸晶圆生产线首批产品成功串线。

 

据悉,华鑫微纳8英寸MEMS晶圆生产线是一条集硅基MEMS、压电MEMS、CMOS-MEMS单片集成、2.5D/3D微系统集成于一体的晶圆代工平台,规划产能为3万片/月的8英寸MEMS晶圆。产品涵盖惯性传感器、压力传感器、光MEMS执行器、环境传感器、喷墨打印头等。

 

(JSSIA整理)