当地时间4月30日，欧洲首个采用电子束光刻的芯片工厂在英国南安普敦大学投入运营。该工厂将使用电子束光刻技术制造下一代半导体，该电子束光刻设备是欧洲首台、全球第二台。

与目前主流采用激光进行图案化处理的技术不同，电子束光刻是一种利用高能电子对光刻胶进行曝光的技术，通过高能电子与物质相互作用，直接激发光刻胶化学反应，从而刻画出半导体电路结构。据了解，电子束光刻技术具备极其优秀的分辨率，可实现远超传统光刻的精度，也无需经过掩膜直写，对研发、小批量生产、原型设计有优势。

南安普顿大学光电子研究中心(ORC)负责人、教授Graham Reed表示，全新电子束设施的投入促进了一系列创新且与工业相关的研究，以及急需的半导体技能培训，南安普敦的新电子束设施将极大地提升国家的半导体领域相关能力。

（JSSIA整理）