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据武汉未来科技城消息,12月18日,长飞先进武汉基地项目首批设备搬入。
据悉,本次搬入的设备涵盖芯片制造各个环节,包括薄膜淀积、离子注入、光刻、刻蚀等。长飞先进武汉基地聚焦第三代半导体功率器件研发与生产,总投资预计超过200亿元,其中项目一期总投资80亿元,规划年产36万片6英寸碳化硅晶圆。
2023年8月25日,长飞先进半导体第三代半导体功率器件研发生产基地落户武汉新城,预计2025年5月实现量产通线。
(JSSIA整理)