中国石化与晶瑞电材集成电路用G5级异丙醇项目开工
12月27日,中国石化与晶瑞电材年产1万吨集成电路用G5级异丙醇项目开工仪式在潜江举行。
据悉,集成电路用G5级异丙醇项目将建立产品评估、验证生产体系,提高产品纯度和质量稳定性,实现超净高纯异丙醇在14纳米及以上集成电路生产线的产业化应用,实现技术和产品的国产化。
异丙醇是湿电子化学品中用量最大的有机溶剂,广泛应用于集成电路制程中清洗和干燥工序,是高端集成电路生产过程中不可或缺的关键材料。集成电路用异丙醇对金属离子浓度、水分、异构物以及颗粒等技术指标要求高。目前,我国先进集成电路用超净高纯异丙醇还依赖进口,是产业链的薄弱环节之一。
(JSSIA整理)