据台媒报道，8月29日，中国台湾经济部门通过了ASML增资1.4亿欧元（约合人民币11.09亿元）的计划，资金将用于晶圆测量设备等产品的代工生产，ASML将提供相关技术支持以及培训服务。

据了解，ASML曾于2022年11月宣布将投资300亿元新台币（约合人民币68.64亿元），用于在中国台湾地区新北市林口工一产业专用园区设厂，扩大产能。中国台湾经济部门将为该项目提供2.85亿元新台币补助，未来该工厂将主要聚焦2纳米晶圆光学量测设备研发制造。

（来源：SEMI）