据“北京亦庄”公众号消息，近日，北方华创科技集团股份有限公司正式发布应用于晶边刻蚀（Bevel Etch）工艺的12英寸等离子体刻蚀机Accura BE。

北方华创相关负责人表示，Accura BE通过选择搭配多种刻蚀气体，实现对PR，OX，SiN，Carbon，Metal等多类膜层材料的晶边刻蚀工艺全覆盖；可定制多种尺寸的聚焦环设计组合，实现对等离子体刻蚀区域的精准位置控制，从而为客户提供灵活、全面的良率提升方案；具备软件智能算法，可实施可视化的量化调节，简化维护流程，提高设备生产效率。

据介绍，Accura BE已获逻辑及存储器领域头部客户多个订单。

（JSSIA整理）