设备材料
 
中国电科46所成功制备6英寸氧化镓单晶
 2023-3-2
 

近日,中国电科46所成功制备出6英寸氧化镓单晶。

 

中国电科46所氧化镓团队聚焦多晶面、大尺寸、高掺杂、低缺陷等方向,从大尺寸氧化镓热场设计出发,成功构建适用于6英寸氧化镓单晶生长的热场结构,突破6英寸氧化镓单晶生长技术,具有良好的结晶性能,可用于6英寸氧化镓单晶衬底片的研制,将有力支撑我国氧化镓材料实用化进程和相关产业发展。

 

(JSSIA整理)