上海新阳拟5.8亿元投建集成电路关键工艺材料项目
2月14日,上海新阳发布关于公司在上海化学工业区投资建设项目的公告。
公告显示,上海新阳拟与上海化学工业区管委会、上海化学工业区发展有限公司签订《投资意向协议》,变更全资子公司上海芯刻微材料技术有限责任公司注册于上海化学工业区,并启动位于上海化学工业区的项目建设。
该项目主要开发集成电路关键工艺材料,总投资额约5.8亿元。预计年产500吨I线、KrF、ArF干/湿法光刻胶;年产10000吨光刻胶稀释剂;年产5000吨高选择比氮化钛刻蚀液系列产品;年产15000吨干法蚀刻清洗液系列产品。项目计划于2025年底前竣工,2026年6月底前投产。
据悉,上海芯刻微材料技术有限责任公司从事半导体微电子材料、光刻材料的技术研发、生产、销售,从事货物及技术的进出口业务。
(来源:微电子制造/JSSIA整理)