近日，上海精测半导体子公司上海精积微半导体首台明场缺陷检测设备BFI-100E和首台高速Driver ATE设备J-Metron 6101正式交付客户。

根据上海精测半导体介绍，此次推出的BFI-100E采用BFI系列通用技术平台，搭载宽波段高亮度激光等离子体光源、大数值孔径物镜系统、高精度大带宽自动对焦系统、高速扫描相机、高精密多轴主动减震工件台、整机控制软件和图像处理算法软件，可全自动检测芯片前道制造中各类关键制程的缺陷。

此次推出的J-Metron 6101是专为LCD/OLED Driver IC提供CP和FT测试方案的ATE（半导体自动测试）设备。J-Metron 6101由主机和测试头组成，结合其高速测试技术，为高分辨率面板DDI提供量产测试解决方案。

上海精积微半导体技术有限公司成立于2021年5月12日，由上海精测半导体技术有限公司投资，主要产品包括图形晶圆缺陷检测设备和面向各类芯片的电学检测设备。

（JSSIA整理）