日前，由中导光电设备股份有限公司（简称“中导光电”）研发制造的“纳米级有图形晶圆缺陷检测设备”NanoPro-150运交客户工厂。

中导光电是一家半导体工业前道制程高端缺陷检测设备研发和产业化的专业公司，据悉，此次运交的NanoPro-1XX产品系列最高灵敏度为100nm，适用于半导体芯片0.13μm-0.18μm及以上制造工艺需求。

与“无图形晶圆缺陷检测设备”相比较，“有图形晶圆缺陷检测设备”技术难度较高，运用范围广，产品的经济价值和市场空间是“无图形晶圆缺陷检测设备”的数倍。

（JSSIA整理）