据日经中文介绍，三菱瓦斯化学将在中国新建半导体清洗液工厂。

中国的新工厂计划最早于2022年上半年投产，投资额未予公开。新工厂生产的是超纯过氧化氢。过氧化氢一般用于消毒液等，提高其纯度可生产超纯过氧化氢。在半导体的生产过程中，需要在不破坏微细半导体结构的情况下清除细小杂质，作为清洗液离不开超纯过氧化氢。该产品也用于研磨和蚀刻等工序。

预计中国的年产能将达到9万吨，以抓住半导体产业不断增长的中国国内需求。三菱瓦斯化学已开始在日本、韩国、中国台湾、美国、新加坡等国家和地区生产超纯过氧化氢。加上中国大陆的产能，全球总体年产能将增加16%，达到64.4万吨。

（来源：日经中文/JSSSIA整理）