3月3日，中芯国际发布公告称，公司于2月1日与阿斯麦（ASML）上海签订了经修订和重述的阿斯麦批量采购协议，将采购协议的期限延长一年至2021年12月31日。根据批量采购协议，公司已就购买用于生产晶圆的阿斯麦产品（即光刻机）与阿斯麦集团签订购买单，订单金额12亿美元。

除了EUV光刻机，中芯国际几乎可以买到其他所有型号的光刻机，包括DUV（深紫外）光刻机。

ASML的最新一代DUV光刻机型号是NXT 2050i。公开资料显示，ASML于2020年第三季度对第一台TWINSCAN NXT 2050i进行了质量认证，并于第四季度初发货。由于对掩模版工作台、晶圆工作台、投影物镜和曝光激光器的技术改进，NXT2050i提供了比其前身更好的套刻精度控制，具有更高的生产率。

中芯国际在上海建有一座300mm晶圆厂，一座200mm晶园厂和一座实际控股的300mm先进设备制程晶园合资厂；在北京建有一座300mm晶圆厂和一座控股的300mm晶圆厂；在天津和深圳各建有一座200mm晶园厂；在江阴有一座控股的300mm合资厂。

此前，各大媒体纷纷报道，中芯国际已获得部分美国供应许可，主要涵盖成熟工艺用半导体设备等。官方表示，他们会尽最大努力，持续携手全球产业链伙伴，保证公司生产连续性及扩产规划不受影响。

（JSSIA整理）