2月24日，据路透社报道，全球第二大DRAM内存供应商SK海力士表示，已与ASML签订一项为期5年、价值4.8万亿韩元（约合43.4亿美元）的采购合同。

SK海力士在一份监管文件中称，这笔交易是为了实现下一代工艺芯片量产的目标，为芯片制造确保足够数量的EUV光刻机。

值得注意的是，早在2020年5月，韩媒报道海力士已在进行1anm工艺的内存研发，具体节点大概在15nm，预计会引入EUV光刻机生产。今年2月，SK海力士位于韩国首尔南部利川市的M16新厂已经竣工，安装了EUV光刻机，以量产10nm1aDRAM，这是SK海力士首次使用极紫外辐射（EUV）光刻机在生产存储芯片。

（来源：拓墣产业研究/JSSIA整理）