综合信息
 
SK海力士与ASML签订五年EUV光刻机设备采购合同
 2021-2-26
 

2月24日,据路透社报道,全球第二大DRAM内存供应商SK海力士表示,已与ASML签订一项为期5年、价值4.8万亿韩元(约合43.4亿美元)的采购合同。

 

SK海力士在一份监管文件中称,这笔交易是为了实现下一代工艺芯片量产的目标,为芯片制造确保足够数量的EUV光刻机。

 

值得注意的是,早在2020年5月,韩媒报道海力士已在进行1anm工艺的内存研发,具体节点大概在15nm,预计会引入EUV光刻机生产。今年2月,SK海力士位于韩国首尔南部利川市的M16新厂已经竣工,安装了EUV光刻机,以量产10nm1aDRAM,这是SK海力士首次使用极紫外辐射(EUV)光刻机在生产存储芯片。

 

(来源:拓墣产业研究/JSSIA整理)