据日经新闻报道，ASML在2019年出售了26台极紫外线(EUV)光刻设备，英国调查公司Omdia的咨询总监南川明推测“大概一半是面向台积电”。

先进制程成为晶圆代工厂商相互竞争的关键领域，台积电2019年以极紫外线(EUV)光刻技术生产7纳米制程，让台积电连续两季创下同期新高纪录，全球独家供应EUV光刻设备的荷商ASML功不可没。台积电在受托生产其他公司设计的半导体芯片的代工领域掌握世界的5成份额，客户包括华为技术等。

据了解，去年Q4季度，ASML出货了8台EUV光刻机，收到了9台EUV光刻机订单，全年EUV光刻机订单量达到了62亿欧元，总计出货了26台EUV光刻机，比2018年的18台有了明显增长，使得EUV光刻机的营收占比也从23%提升到了31%。

ASML是全球唯一可量产EUV光刻机的大厂，无论三星、台积电、英特尔、中芯国际等半导体大厂，全都要靠ASML生产的EUV光刻机，才能在先进纳米制程中导入EUV光刻技术。

此前，ASML预计2020年交付35台EUV光刻机，2021年则会达到45台到50台的交付量，是2019年的两倍左右。

（来源：天天IC）