电子气体是指用于半导体及相关电子产品生产的特种气体，应用范围十分广泛。按其本身化学成分可分为：硅系、砷系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按在集成电路中不同应用途径可分为掺杂用气体、外延用气体、离子注入气、发光二极管用气、刻蚀用气体、化学气相沉积气和平衡气。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体，其中常用的有超过30种。据JSSIA数据整理分析，2019年我国半导体电子气体市场规模达70亿元，比2018年增长15.6%。

虽然我国电子气体已经摆脱完全依赖进口的状态，但面对国外化工巨头已经实现的市场垄断，国内企业依然面临巨大的竞争压力。在特种电子气体方面，除了个别蚀刻、清洗用气体之外，8～12英寸集成电路生产用大部分气体品种也由法国液化空气集团（法液空）、美国空气化工产品公司（AP）、德国林德公司（林德）、美国普莱克斯公司（普莱克斯）、德国梅塞尔集团（梅塞尔）等5家大型气体公司占有并辅以其他6～8家公司提供特殊气体品种。近年来，5大电子气体公司在全球电子气体市场中所占份额一直保持在80%以上。

目前我国共有特种气体生产企业150余家，但多数企业生产规模较小。近年来，随着国家对半导体产业的支持力度不断加大，02专项等科研项目推动中国本土的电子特种气体产品水平不断提升。

（协会秘书处）