据新三板公司中科仪发布公告称，公司与国家集成电路产业投资基金股份有限公司（以下简称“大基金”）、宿迁浑璞五期集成电路产业基金（有限合伙）（以下简称“浑璞投资”）和国科科仪控股有限公司（以下简称“国科科仪”）达成战略投资意向，拟于近期签订战略投资协议。

根据协议，大基金、浑璞投资和国科科仪就中科仪真空干泵产业化升级等战略投资事宜达成意向，投资金额分别为不超过人民币1.4亿元、7000万元、5000万元，投资方式包括但不限于受让老股、认购新股等。

中科仪是一家集真空仪器装置研发、生产、销售、服务为一体的高科技企业，其前身是中国科学院沈阳科学仪器研制中心，创建于1958年，多年来成功研制涡旋干泵、罗茨干泵、蓝宝石单晶炉、磁控溅射镀膜设备、电子束蒸发镀膜设备等产品。

目前，中科仪真空干泵已经在中芯国际、上海华力、长江存储、北方华创等国内集成电路芯片制造、装备制造企业实现批量应用，打破了国外企业对同类产品的长期垄断的局面，为今后进一步在集成电路领域市场拓展奠定了坚实的基础。中科仪是国内唯一一家提供能够满足集成电路领域需求的真空干泵制造企业。

（来源：中国半导体论坛）