晶园工艺
 
华力微:年底量产28nm HKC+,明年量产14nm FinFET
 2019-3-22
 

3月21日,在SEMICON China 2019的先进制造论坛上,上海微电子华力微电子研发副总裁邵华发表演讲时表示,华力微电子今年年底将量产28nm HKC+工艺,明年年底则将量产14nm FinFET工艺。

 

邵华强调,各种新技术的诞生都离不开半导体产业。华力微电子是一个器件和工艺的大平台,目前有两个工厂,其中华虹5厂目前的月产能在35000片左右,工艺节点覆盖55nm-28nm;华虹6厂的目标产能则能够达到每月40000片,今年年底将达到每月20000片,并于2021年底达产,工艺节点更是覆盖到28nm-14nm FinFET。

 

据邵华透露,华力微电子计划在今年年底量产28nm HKC+工艺,而14nm FinFET的量产时间,预计将落在明年年底。

 

(来源:集微网/JSSIA整理)