2018年4月11日上午，来自大基金、紫光集团、湖北科投、湖北集成电路产业投资基金的高管、全球知名半导体装备供应商的代表及业界同仁汇聚一场，共同庆祝长江存储工艺设备搬入。

搬入的设备有来自全球顶级半导体装备公司如应用材料AMAT、东京电子TEL、泛林集团 Lam Research的设备机台。

可喜的是，本次长江存储设备搬入现场，还有来自中国最大的半导体装备公司北方华创NAURA的机台。有网友评论说，半导体装备的国产化比芯片国产化更可喜！实际上，早在2017年11月30日，北方华创的12寸立式氧化炉THEORIS O302就进入长江存储用于3D NAND Flash制程。THEORIS O302具有先进的颗粒控制技术、高精度温度场控制技术、先进的微环境氧含量控制技术、后期维护费用低等特点，具备12英寸晶圆干氧氧化、湿氧氧化、DCE氧化等工艺能力，可应用于LOGIC、DRAM、NAND等产品工艺制程，成为客户的POR（Process of Record）机台（扩产优先采购机台）。此前已经批量应用于中芯国际、上海华力大生产线，获得用户好评。

长江存储作为国家存储器基地项目，其首个厂房于2016年12月30日开工，2017年9月28日厂房主体封顶，2018年4月11日举行工艺设备开始搬入仪式，预计2018年下半年将实现32层64G NAND FLASH小规模量产，初期月产能5000片。

在长江存储的发展规划中，分为两个阶段，总投资240亿美元。第一阶段阶段100亿美元，以3D NAND FLASH做为切入点，通过技术合作，争取快速投产，实现月产10万片的目标；第二阶段，将再建设两座厂房，到2020年目标产能达到30万片，将足以比肩SK Hynix、东芝公司的产能。

目前，长江存储已经在武汉、北京、上少经、台北、日本东京、美国硅谷设立多个研发基地，于2017年12月研发成功中国首颗3D NAND FLASH芯片，目标是成为世界一流的存储芯片供应商。

另据来自湖北机场集团有限公司的消息称，2018年4月5日凌晨2时44分，康尼航空从芝加哥飞至武汉的K4848大型波音747全货机航班，载着16吨价值400万美金的长江存储的精密仪器安全平稳的降落在武汉天河机场货机坪上，机场工作人员迅速组织按预定方案卸载长江存储精密仪器，并通过绿色通道顺利完成该批精密仪器货运保障工作。这是长江存储项目精密仪器是第一次从武汉天河机场口岸入境，后期还将陆续有多批精密设备经天河机场到厂。

（来源：芯华社）