——中国电子科技集团公司第四十五所集团首席专家柳滨

提到半导体设备业，一个词语必然会出现在脑海，那就是国产设备质量。单类设备供给质量的突破是目前我国设备业需要重点克服的困难。

设备供给质量是一个统一的概念，包括设备性能、工艺适用性、可靠性以及应用服务等方面。设备供给质量是单类设备市场占有率的基础，也是设备制造商品牌和声誉的名片，是设备制造商持续发展的市场保证。

单类设备供给质量的突破，对设备制造商同样提出了多重要求。一方面，设备开发规律成为考量因素。另一方面，专业设备公司体制运行机制也需完善。

单类设备供给质量的突破，要求设备制造商不仅要按照半导体制造设备一般开发规律，重视应用需求，进行应用工艺研发，建立工艺验证试验或引导生产线，而且在设备制造商内部形成真正意义上的专业设备公司体制运行机制，注重各类专业技术人才队伍的建设，按照设备产业链价值环节从事经营活动。

在单类设备供给质量突破的前提下，设备制造和产线应用界应形成类似的产业联盟，以下游制造线建线为方向，加强整线设备集成与服务能力的建设，提升半导体设备在半导体制造产业中的国产化率。

目前国内半导体制造，尤其是集成电路制造还不能满足国内需求，目前的快速发展以及今后持续的高速发展将会必然趋势。

半导体制造对国产半导体设备的强烈市场需求是国内设备产业发展的最大的机遇。

针对目前国内半导体设备产业链不完整，支撑能力弱，不能与半导体制造同步发展的现况，国家继续加大支持设备产业发展，是国内设备产业发展的政策机遇。

国家在以集成电路制造为代表的半导体制造产业顶层设计上，已经形成诸如《国家集成电路产业发展推进纲要》、《中国制造2025》等完整的政策和规划引领，配套的行业发展行动计划如“02专项”国家科技重大专项及集成电路产业发展基金（大基金）的实施，对产业的发展和推动起到了决定性的作用。

建议设备供应商，以集成电路核心设备类别为突破口，打造专业研发和制造公司，打造设备品牌，提高设备供给声誉，扩大产业规模。

同时以技术创新和知识产权布局为手段，建立完善自主的设备技术体系，具备一定影响力和市场竞争力。

在国际方面，在设备产业链建设同时，吸引国际设备制造商本土化方向发展。

在国家层面，应继续发挥国家扶持资金的投入引导作用，发挥国家大基金、各省市集成电路产业基金的促进作用，产业聚集区协作互动作用以及各类专业人才的领军能动作用。通过以上几点，才能更好地抓住产业机遇，推动发展。

（来源：中国电子报）