中国大陆正在成为全球半导体产业扩张宝地。继大陆最大晶圆代工厂中芯国际近一个月接连在上海、深圳建12寸厂后,晶圆代工厂联电16日也宣布,厦门12寸合资晶圆厂联芯集成电路制造(厦门)开始营运。
最新中国大陆12寸晶圆厂分布

▲ 图:中国大陆现有12寸晶圆厂
其中,联电晶圆代工厂,于11月16日宣布,厦门12寸合资晶圆厂联芯集成电路制造(厦门)开始营运(加入中国大陆现有12寸晶圆厂之列),这是首座两岸合资12寸晶圆厂。
英特尔、三星与SK 海力士大厂早已在中国插旗,并将主力放在存储产业。特别的是英特尔大连12 寸晶圆厂在2010 年完工当时,厂房规划用以生产65 纳米制程CPU ,但在产能利用率低落下,2015 年10 月英特尔宣布与大连市政府合作,投资55 亿美元转型生产3D-NANDFlash 并在今年7 月底重新宣告投产。中国本土厂商现有12 寸厂的为中芯国际与华力微,两者分别在上海都有厂房,中芯在北京还有B1、B2 两座晶圆厂,其中B2 厂制程已至28纳米。

▲图:兴建中12寸晶圆厂
其中,中国晶圆代工业者中芯国际(SMIC)于11月初宣布,将于深圳兴建12寸晶圆生产线(加入中国兴建中12寸晶圆厂之列),以主流成熟制程节点为产品方向,预计2016年底开工、2017年底投产;该厂所需相关二手设备已经采购完成,未来将依据客户需求扩充产能,目标是每月4万片晶圆。
除此之外,10月13日中芯国际(SMIC)宣布在上海开工建设新的12英寸晶圆厂,投资超过675亿人民币,明年底正式建成,这座工厂将使用14nm工艺,这是中芯国际最先进、同时也是国内最先进的制造工艺。
台积电在台湾政府法规松绑后,正式在今年中宣布赴中国南京独资建12 寸晶圆厂,并在7 月举行动土,厂房预计2018 年完工,也宣告16 纳米届时将在陆量产。
此外,5 月联电宣布与福建晋华集成电路签署技术合作协定,协助晋华集成开发DRAM 相关制程技术,在泉州市建立12 寸晶圆厂,从事利基型DRAM 代工,早在台积电之前,走“联电模式”在中国建厂的还有力晶,力晶与合肥市政府合作,成立晶合集成在当地打造12 寸晶圆厂,从事最高90 纳米面板驱动代工服务。
今年6月份GlobalFoundries公司与重庆政府签署了合作协议,联合建设一座12英寸晶圆厂,但是现在这个合作恐怕要黄了,GF公司只原意二手设备升级晶圆厂,但要占51%的股份,重庆政府认为他们的二手设备不值这么多,导致合作搁浅。
然而,关于市场传出格罗方德可能暂缓大陆重庆合资晶圆厂的计划,晶圆代工大厂格罗方德(GlobalFoundries)技术长帕顿予以否认,并表示在大陆拥有自己的生产据点是很重要的策略,预期未来几年格罗方德在大陆的营收将有倍数成长,而未来重庆厂主要角色是支援新加坡厂的产能及技术,会先由0.13/0.18微米制程开始。
(GF希望用这些二手半导体设备占联合公司的51%股份,也就是要控股,而重庆市政府认为他们的二手设备不值这么多钱,对51%的股份表示不悦,如果报道属实,GF和重庆政府不能商议出更好的对策,合作不成功也是极有可能的)

▲图:传出新建计划
除了已动工兴建的晶圆厂,几项预期兴建的计画也浮上台面,如中芯此次在上海建新厂,10 月初也与宁波市政府签订备忘录,将在当地再盖一座8 寸晶圆厂、两座12 寸晶圆厂,其他如华力微、德科玛等中国本土厂商也再释出兴建12 寸厂讯息。
最新动态
关于联电厦门合资12寸晶圆厂
11月16日,联电晶圆代工厂宣布,厦门12寸合资晶圆厂联芯集成电路制造(厦门)开始营运(加入中国大陆现有12寸晶圆厂之列),这是首座两岸合资12寸晶圆厂。
联芯是由联电与厦门市人民政府、福建省电子讯息集团三方共同成立的合资晶圆制造公司,也是华南的第一座12寸晶圆专业工厂,第一期导入联电55、40奈米量产技术,规画总产能为每月高达5万片的12寸晶圆。
联芯也打破过去纪录,从2015年3月动工以来,仅花20个月就能量产客户产品,目前40奈米制程生产的通讯晶片产品良率已逾99%;联电表示,选择在厦门设立晶圆厂,是因为位置离台湾较近,可获得台湾联电总部的无缝支持,厦门也具备完善的基础建设,可提供工程人才资源与各项后勤支持。
执行长颜博文表示,联芯除可满足中国大陆庞大的电子产品市场需求外,也有助全球IC客户在晶圆制造上降低地缘风险;而随着联芯量产,联电将迈入下一个成长阶段。
中芯国际将于深圳建12寸晶圆线
本月初,中国晶圆代工业者中芯国际(SMIC)宣布,将于深圳兴建12寸晶圆生产线(加入中国兴建中12寸晶圆厂之列),以主流成熟制程节点为产品方向,预计2016年底开工、2017年底投产;该厂所需相关二手设备已经采购完成,未来将依据客户需求扩充产能,目标是每月4万片晶圆。
根据中芯国际发布的新闻资料,该公司的深圳12寸晶圆生产线计划,是为了因应市场在物联网(IoT)时代对IC的大规模需求;该生产线将增设于中芯国际深圳厂区的现有厂房──该厂房于2014年12月兴建完成,位于深圳市坪山新区,目前月产能3万片晶圆。
在新闻声明中,中芯国际董事长周子学表示,深圳是中国最大的电子信息产业基地,聚集数百家IC设计公司、系统整机及设备企业,该公司在深圳有一条运营良好的8寸晶圆生产线,激活12寸生产线将进一步完善中芯国际的产能布局,同时让深圳IC产业链进一步发展。
中芯国际675亿上海建12英寸晶圆厂
10月13日,中芯国际(SMIC)宣布在上海开工建设新的12英寸晶圆厂,投资超过675亿人民币,明年底正式建成,这座工厂将使用14nm工艺,这是中芯国际最先进、同时也是国内最先进的制造工艺。
要想做大,中芯国际还需要扩大产能,提高制程工艺技术。这次在上海建设的12英寸晶圆厂就是针对未来需求建设的,预计2017年底建成,2018年正式量产,初期月产能就高达7万片晶圆。官方公告中并没有提到该工厂的制程工艺,它实际上是中芯国际首个14nm产线。
目前一代的FinFET工艺中,TSMC是16nm节点,三星、Intel各自开发了14nm FinFET工艺,GlobalFoundries则使用了三星的14nm工艺授权。由于受到出口限制,中国只能选择自己开发,去年中比利时国王访华时,华为、高通、中芯国际及比利时微电子中心宣布合作开发14nm工艺,中芯国际现在建设的12英寸晶圆厂就是为此准备的,2018年量产也符合之前的预告。
上海的12英寸晶圆厂不止会上14nm工艺,未来还会升级10nm以及7nm工艺。
全球12寸晶圆厂发展态势
全球晶圆产能到2020年都将延续以12寸晶圆称霸的态势。
ICInsights的报告指出,截至2015年底,12寸晶圆占据全球晶圆产能的63.1%,预测到2020年该比例将增加至68%;全球有95座量产级晶圆厂采用12寸晶圆(世界各地还有不少研发晶圆厂以及少量生产晶圆厂使用12寸晶圆,但并不在IC Insights统计之列)。
全球运作中的12寸晶圆厂数量预计到2020年将持续增加,而大多数12寸厂将继续仅限于生产大量、商品类型的元件,例如DRAM与快闪存储、影像感测器、电源管理元件,还有IC尺寸较大、复杂的逻辑与微处理器;而有的晶圆代工厂会结合不同来源的订单来填满12寸晶圆厂产能。
ICInsights预计到2020年底,还会有另外22座12寸晶圆厂开始营运,届时全球12寸晶圆厂数量总计将达到117座;该机构预期,12寸晶圆厂(量产级)的最高峰数量将会落在125座左右。
(来源:芯师爷)